Thermo Scientific ™ Helios ™ 5 Λέιζερ PFIB μεγάλου όγκου 3D ανάλυση, Ga-ελεύθερη προετοιμασία δειγμάτων, και μικροεπεξεργασία ακρίβειας. Με ένα καινοτόμο, πλήρως ενσωματωμένο λέιζερ φετοδευτερόλεπτων, που παρέχει ταχύτητα αφαίρεσης υλικών και την ποιότητα της επιφάνειας κοπής, είναι μια υψηλής ποιότητας υπο-επιφάνεια και τρισδιάστατη συσκευή χαρακτηρισμού σε νανοανάλυση σε κλίμακα χιλιοστών.
Λέιζερ PFIB
Μεγάλος όγκος: 2000 × 2000 × 1000 μm3
Μεγάλη ροή δέσμης zui: ~ 1mA (ισοδύναμο με το ρεύμα δέσμης ιόντων)
Ροή κοπής: 74μA
Μέγεθος δέσμης: 15μm
Ενσωμάτωση λέιζερ: 3 ακτίνες (SEM / PFIB / λέιζερ) είναι πλήρως ενσωματωμένες στο δωμάτιο δείγματος και έχουν το ίδιο σημείο συγκέντρωσης,
Επιτεθεί ακριβής, επαναλαμβανόμενη θέση κοπής και τρισδιάστατη χαρακτήριση.
Μία αρμονική: μήκος κύματος 1030 nm (υπέρυθρο), πλάτος παλμού <280 fs
Δεύτερη αρμονική: μήκος κύματος 515 nm (πράσινο), πλάτος παλμού <300 fs
Ηλεκτρονική οπτική:
Τρία σημεία επικάλυψης δέσμης WD = 4 mm (ίδιο με SEM / FIB)
Μεταβλητοί φακοί (ηλεκτρικοί)
☆ Πολωρισμός: οριζόντια / κάθετη
Ποσοστό επανάληψης: 1 kHz ~ 1 MHz
Ακριβία τοποθέτησης ακτίνων: <250 nm
Προστατευτική κάρτα: Αυτόματη κάρτα προστασίας SEM/PFIB
Λογισμικό:
Λογισμικό ελέγχου λέιζερ
☆ Λέιζερ τρισδιάστατη συνεχή ροή εργασίας κοπής
☆ EBSD laser τρισδιάστατη συνεχή ροή εργασίας κοπής
☆ Σενάριο ελέγχου προγραμματισμού λέιζερ*
Ασφάλεια: Διακλειδωμένο κάλυμμα προστασίας λέιζερ (Ασφάλεια λέιζερ κατηγορίας 1)
Χαρακτηριστικά και Χρήση:
☆ Υλικό διατομής mm Αφαίρεση, υλικό Αφαίρεση ποσοστό 15.000 φορές ταχύτερο από το τυπικό Ga + FIB
☆ Επιτρέπεται στατιστικά σχετική υπό επιφάνεια και τρισδιάστατη ανάλυση δεδομένων με τη συλλογή μεγαλύτερων όγκων σε μικρότερο χρονικό διάστημα
☆ Ακριβής, επαναλαμβανόμενη θέση κοπής, τρεις δέσμες δίνονται στο ίδιο σημείο στο δείγμα
☆ Γρήγορος χαρακτηρισμός των χαρακτηριστικών της βαθιάς επιφάνειας εξαγωγής λεπτών TEM ή τεμάχια κάτω από την επιφάνεια για τρισδιάστατη ανάλυση
☆ Επεξεργασία υψηλής αποδοτικότητας σε δύσκολα υλικά όπως μη αγώγιμα ή ευαίσθητα σε ακτίνες ιόντων
☆ Γρήγορος και απλός χαρακτηρισμός των ευαίσθητων δειγμάτων στον αέρα, χωρίς να χρειάζεται να μεταφέρετε δείγματα μεταξύ διαφορετικών οργάνων για απεικόνιση και απόκτηση διατομής
Όλες οι δυνατότητες της πλατφόρμας Helios 5 PFIB είναι εξαιρετικά αξιόπιστες, συμπεριλαμβανομένης της προετοιμασίας δειγμάτων TEM και APT υψηλής ποιότητας χωρίς γαλίο και της ικανότητας απεικόνισης υψηλής ανάλυσης
